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  • 名称:铝酸锂晶体(LiAlO2)

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铝酸锂单晶与氮化镓的晶格失配率非常小(铝酸锂为1.4%)而成为氮化镓薄膜的优质基片。


详细参数

主要性能参数
晶体结构 四方
晶格常数 a=5.17 A    c=6.26 A
熔点(℃) 1900
密度 2.62(g/cm3
硬度 7.5(mohs)
与GaN失配率<001> 1.4%
尺寸 10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″,Ф2.6″
厚度 0.5mm,1.0mm
抛光 单面或双面
晶向 <100>  <001>
晶面定向精度: ±0.5°
边缘定向精度: 2°(特殊要求可达1°以内)
斜切晶片 可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片
Ra: ≤5Å(5µm×5µm)
包装 100级洁净袋,1000级超净室
 

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